AS-One真空快速退火爐，性能ZYUE，可搭配分子泵實現(xiàn)高真空下熱處理工藝。Z高溫度1500 ℃，Z快升溫速率200℃/Second。全程PC軟件控制升溫程序，保證溫度不過沖，控溫精度準確。

產(chǎn)品特點：

1、 紅外鹵素燈管加熱，冷卻采用風冷（低噪音水平，無需壓縮空氣）；

2、加熱由功率控制而非電壓控制，避免了由于燈絲老化電阻改變導致的后續(xù)使用中加熱不均的問題，保證了良好的重現(xiàn)性及均溫性，即使在后續(xù)使用過程中更換了部分新的燈管也可以達到初的熱處理效果；

3、石英腔體，腔體冷卻采用水冷，冷壁設計，雙層不銹鋼；

冷壁水冷技術優(yōu)點在于：1、無記憶，2、工藝重復性高，3、冷卻速度快；

4、反應腔室的設計，氣體的進入口設計在wafer的表面，避免在退火過程中冷點的產(chǎn)生。很好的保證了樣品在加熱過程中的均溫性；

5、快速數(shù)字PID控溫；

6、熱電偶配合高溫計控溫，測試樣品的溫度，控溫JIN準；

7、大氣和真空工藝均適合，凈化氣體配針閥；

8、多5路工藝氣體，配數(shù)字質(zhì)量流量控制器；

9、電腦通過以太網(wǎng)連接更快的數(shù)據(jù)傳輸速度；

10、可選配石墨托盤表面涂SiC薄膜設計，用于小樣品測試；

11、可選配分子泵，用于高真空測試；

產(chǎn)品標準配置及規(guī)格參數(shù)：

1、樣品Z大尺寸：AS-One100：4-inch；AS-One150 ：6-inch；

2、紅外鹵素燈：AS-One100 12支； Z大功率：30KW；

                          AS-One150 18支； Z大功率：34KW；

3、紅外鹵素燈冷卻方式：風冷；

4、溫度范圍：AS-One100室溫~1250 ℃；（室溫~1500 ℃可選）

                       AS-One150室溫~1200 ℃；（室溫~1300 ℃可選）

5、升溫速率：AS-One100 ：0.1 ℃~250 ℃/s ；

                       AS-One150 ：0.1 ℃~200 ℃/s ；

6、溫度控制：快速數(shù)字PID控制；

7、熱電偶：2個K型熱電偶；（安裝中心和邊緣）

8、進氣口：位于石英窗下；

9、工藝氣體氣路配質(zhì)量流量計：壓力：2bars，多可配置5路； 

10、配置真空泵及真空規(guī)：真空度：10e-3 Torr；（分子泵選配10e-6 Torr）

11、尺寸：AS-One100：510*800*1425mm (W*D*H)；

                  AS-One150：510*800*1425mm (W*D*H)；

       重量：AS-One100：194Kg；

                 AS-One150：凈重240Kg；