等離子體處理儀是通過利用對氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子狀態(tài)，利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、改性、光刻膠灰化等的目的。

　　等離子體是指電離氣體，是電子、離子、原子、分子或自由基等粒子組成的集合體。清洗時高能電子碰撞反應氣體分子，使之離解或電離，利用產生的多種粒子轟擊被清洗表面或與被清洗表面發(fā)生化學反應，從而有效地清除各種污染物；還可以改善材料本身的表面性能，如提高表面的潤濕性能和改善膜的粘著力等，這在許多應用中都是非常重要的。

　　等離子體處理儀具有以下明顯優(yōu)點：

　　(1)處理溫度低,處理時間短,節(jié)約能耗,可縮短工藝流程;

　　(2)處理過程中不使用酸堿等化工原料,避免了高溫潮濕的生產環(huán)境;

　　(3)處理深度僅為數百埃到幾納米,不影響基體的固有性質;

　　(4)處理過程屬于干法處理,可大幅降低水資源消耗,對節(jié)約水資源有重要的社會經濟意義;

　　(5)處理過程中無三廢排放,既保護了環(huán)境,又節(jié)約了企業(yè)的治污費用,符合國家的環(huán)保政策;

　　(6)可采用不同的氣體介質進行處理,對材料終的表面化學結構和性質有較好的可控性。

　　等離子體處理儀的用途

　?。?）醫(yī)用材料研究，主要為研究和開發(fā)企業(yè)或研究所；

　　（2）電子領域，應用較為廣泛，如電路板等；

　?。?）生物芯片領域；

　　（4）高分子材料研究或開發(fā)單位；

　?。?）精密研究的清洗、除污。保證儀器的正常使用；

　?。?）光學材料的開發(fā)和研究；

　?。?）電化學單位，進行表面處理的單位；

　　（8）其他主要進行表面處理的單位。