德國Diener等離子清洗機發(fā)生的反應為物理反應，射頻等離子體發(fā)生的反應既有物理反應又有化學反應，微波等離子體發(fā)生的反應為化學反應。超聲等離子體清洗對被清潔表面產(chǎn)生的影響大，因而實際半導體生產(chǎn)應用中大多采用射頻等離子體清洗和微波等離子體清洗。而超聲等離子則應用于表面除膠、毛刺打磨等處理方面效果佳，典型的等離子體物理清洗工藝是在反應腔體中加入氬氣作為輔助處理的等離子體清洗；氬氣本身是惰性氣體，等離子體的氬氣不和表面發(fā)生反應，而是通過離子轟擊使表面清潔。

　　

　　德國Diener等離子清洗機采用氣體作為清洗介質(zhì)，有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。等離子清洗機外接一臺中空泵，工作時清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，短時間的清洗就可以使有機污染物被*地清洗掉，同時污染物被中空泵抽走，其清洗程度達到分子級。等離子清洗器除了具有超清洗功能外，在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能，等離子體作用于材料表面，使表面分子的化學鍵發(fā)生重組，形成新的表面特性。對某些有特殊用途的材料，在超清洗過程中等離子清洗器的輝光放電不但加強了這些材料的粘附性、相容性和侵潤性，并可消毒和殺菌。等離子清洗器廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫(yī)學、微觀流體學等領(lǐng)域。

　　

　　德國Diener等離子清洗機具有以下優(yōu)點：

　　

　　(1)處理溫度低

　　

　　處理溫度可以低至80℃、50℃以下，低的處理溫度可以確保對樣品表面不造成熱影響。

　　

　　(2)處理全程無污染

　　

　　等離子清洗機本身是很環(huán)保的設(shè)備，不產(chǎn)生任何污染，處理過程也不產(chǎn)生任何污染。

　　

　　(3)處理效率高，可實現(xiàn)全自動在線生產(chǎn)

　　

　　大氣的等離子清洗，樣品表面只要經(jīng)過很短的時間處理，一般2S以內(nèi)便能達到效果。

　　

　　可以與原有生產(chǎn)流水線搭配，實現(xiàn)全自動在線生產(chǎn)，節(jié)約人力成本。

　　

　　(4)處理效果穩(wěn)定

　　

　　等離子清洗的處理效果非常均勻穩(wěn)定，常規(guī)樣品處理后較長時間內(nèi)保持效果良好。

　　

　　(5)處理過程無需額外輔助的物品和條件

　　

　　大氣等離子清洗機只需要220V交流電和壓縮空氣氣源即可!無需其它額外物品和條件。

　　

　　(6)運行成本低

　　

　　全自動運行，可24小時連續(xù)工作，無需人工看管，運行功率可低至500W。

　　

　　(7)可以處理各種形狀的樣品

　　

　　對于復雜形狀的樣品，等離子清洗都能找到合適的解決方案。